القناع الضوئي للفيلمهي لوحة رئيسية تستخدم في تصنيع رقائق الدوائر المتكاملة، وتحمل المعلومات ذات الصلة بتخطيط تصميم الدوائر المتكاملة. في عملية تصنيع الرقاقة، يتم نقل النموذج الموجود على قناع الفيلم الضوئي إلى مادة الركيزة المكشوفة من خلال سلسلة من العمليات مثل الطلاء المقاوم للضوء، والتعرض، والتطوير لتحقيق نقل النمط.
ينحرف الضوء من خلال الجزء الشفاف من قناع الفيلم الضوئي، وسوف تتباعد شدة الضوء إلى المنطقة المعتمة القريبة. تجمع عدسة الإسقاط هذه الأشعة وتجمع الضوء لإسقاطه على سطح الرقاقة للتصوير. إذا كنت تريد التمييز بين فتحتين شفافتين متجاورتين على قناع الفيلم الضوئي، فيجب أن تكون شدة الضوء في المنطقة المظلمة بينهما أصغر بكثير من شدة الضوء في المنطقة الشفافة. لا ينعكس هذا السعي لتحقيق الدقة العالية فقط في التحسين المستمر للطول الموجي لمصدر الضوء ومقاوم الضوء، ولكن أيضًا في التحديث المستمر لأنواع الأقنعة الضوئية والمواد المستخدمة.
تشمل الأقنعة الضوئية الحالية المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات بشكل أساسي الثنائيالقناع الضوئي للفيلم، قناع ضوئي لفيلم التحول المرحلي، وقناع ضوئي لفيلم EUV.
يتم تحضير الكوارتز الاصطناعي عن طريق الترسيب المحوري للطور الغازي. وهي عبارة عن كتلة من زجاج الكوارتز تتكون من سلسلة من التفاعلات الكيميائية في لهب الهيدروجين والأكسجين لتوليد جزيئات ثاني أكسيد السيليكون. من بينها، يمكن أن يكون مركب السيليكون SiCl4، SiHCl3، SiH2Cl2 أو حتى SiH4. يجب أن يتمتع الكوارتز الاصطناعي بنفاذية ضوء عالية تزيد عن 99%، ومقاومة قوية للضوء، ومعدل تمدد حراري منخفض، وجودة عالية، وتسطيح عالي، ودقة سطح عالية، ومقاومة قوية للبلازما ومقاومة الأحماض والقلويات، وعزل عالي وخصائص أخرى.
تشير ركيزة قناع الفيلم الضوئي، والمعروفة أيضًا باسم ركيزة القناع الضوئي الفارغة، إلى ركيزة كوارتز تم ترسيب عليها مواد وظيفية مثل Cr وMoSi، ثم يتم ترسيب الطلاء المضاد للانعكاس ومقاوم الضوء. بعد التعرض، والحفر، والتجريد، والتنظيف، والفحص وغيرها من العمليات، يتم إعداد قناع ضوئي للفيلم. تمثل ركيزة Film Photomask حوالي 90% من تكلفة المواد الخام لمنتجات Film Photomask وهي عامل رئيسي في تكلفة منتجات Film Photomask. مع استمرار مستخدمي Film Photomask في زيادة متطلباتهم فيما يتعلق بجودة منتجاتهم النهائية، تسعى شركات Film Photomask باستمرار إلى تحقيق اختراقات في جودة المنتج، كما أن جودة ركائز Film Photomask لها تأثير كبير على جودة المنتجات.القناع الضوئي للفيلمالمنتجات النهائية. تشمل المؤشرات الرئيسية لركائز قناع التصوير السينمائي التسطيح والأداء وسمك المواد المودعة على السطح والنظافة وما إلى ذلك. ومع استمرار تقلص العقد التكنولوجية لتصنيع الدوائر المتكاملة، أصبحت متطلبات هذه المؤشرات الفنية أكثر صرامة.
فيلم الحماية Photomask عبارة عن فيلم شفاف بسمك 1 ميكرومتر يتم لصقه على إطار من سبائك الألومنيوم. استخدامالقناع الضوئي للفيلمالفيلم الواقي له وظيفتان رئيسيتان. واحد هو التأكد من أن الغبار أو الجزيئات المرتبطة بالقناع الضوئي للفيلم لن يتم تصويرها على الرقاقة أثناء عملية التعرض؛ والآخر هو الحفاظ على نظافة القناع الضوئي، وتقليل تآكل القناع الضوئي السينمائي أثناء الاستخدام، وتحسين كفاءة إنتاج تصنيع أشباه الموصلات.
