مقارنة CGH على أساس السعة وCGH على أساس المرحلة
I. خلاصة الاختيار: يتم تحديدها بواسطة "المادة قيد الاختبار"
عند اختيار أCGHالنوع، الاعتبار الأساسي هو انعكاسية السطح الذي يتم اختباره. ويكمن جوهر اختبار قياس التداخل في "مطابقة الشدة" للحزم المرجعية وحزم الاختبار؛ فقط عندما تكون شدة الحزمتين متشابهة، سيكون التباين الهامشي هو الأمثل.
● نوع السعةCGH: الخيار الأول للمواد عالية الانعكاس
إذا كانت قطعة الاختبار الخاصة بك عبارة عن معدن أو سيليكون أحادي البلورة (Si) أو كربيد السيليكون المعدل (SiC) أو الجرمانيوم المعدني (Ge)، فإن هذه المواد تتمتع بانعكاسية عالية. نوع السعةCGHsتتمتع بكفاءة حيود منخفضة نسبيًا (حوالي 10٪)، مما يوازن بشكل مثالي بين شدة الإضاءة الخلفية عالية الانعكاس، مما يمنع مخطط التداخل من أن يصبح ساطعًا للغاية ويسبب تشبع البكسل.
● نوع المرحلةCGH: منقذ للمواد منخفضة الانعكاس
بالنسبة للمواد مثل الزجاج البصري، والكوارتز، والزجاج البلوري الدقيق، تكون انعكاسية سطحها منخفضة للغاية عادةً. إذا تم استخدام CGH من نوع السعة، ستكون إشارة الإضاءة الخلفية ضعيفة للغاية وتغرق بسبب ضوضاء الخلفية. عند هذه النقطة، نوع المرحلةCGHيجب استخدامه، مع الاستفادة من كفاءة حيوده التي تزيد عن 40% "للضغط" على كل شعاع ثمين من ضوء الإشارة، وبالتالي الحصول على حواف واضحة ذات تباين عالٍ.
ثانيا. قمع الضوء الشارد: سحر "تقليل الضوضاء" من نوع المرحلةCGHs
فيCGHمن خلال التصميم والاختبار، من الصعب للغاية فصل الأضواء الضالة من الدرجة 0 (الضوء المنقول) والرتبة الثانية (حيود الدرجة الأعلى). إذا لم يتم التعامل معها بشكل صحيح، فإنها سوف تتراكب على واجهة موجة القياس الرئيسية، مما يتسبب في حدوث خلل أو ضوضاء دورية في البيانات السطحية.
●نوع السعة: يتم توزيع الطاقة عبر أوامر متعددة، مع وجود طاقة كبيرة في الترتيبين 0 و2، مما يتطلب تصفية تردد مكاني عالي للغاية.
●نوع الطور: من خلال عمق الحفر المصمم بدقة، نوع الطورCGHsيمكن أن يحقق "نقل الطاقة" على المستوى المادي. يمكنه قمع طاقة الرتبتين 0 و 2 بشكل كبير، مع تركيز الطاقة الضوئية بشكل كبير على واجهة موجة قياس الرتبة الأولى المرغوبة. تجعل انتقائية التردد المتأصلة الخلفية على شاشة مقياس التداخل نظيفة للغاية، مما يؤدي إلى بيانات قياس أكثر موثوقية.
مثال: لنأخذ عدسة شبه كروية ذات انعكاس 4% كمثال، فلنقارن التباين الهامشي لنوع السعةCGHونوع المرحلةCGH:
الشروط المعطاة:
● نفاذية السطح المرجعي لمقياس التداخل (TF) (T_TF): 96%
● انعكاس السطح المرجعي لمقياس التداخل (TF) (R_TF): 4% (كضوء مرجعي Ir)
● الانعكاس السطحي للجزء قيد الاختبار (Rs): 4% (زجاج بصري)
● صيغة التباين: V = [2 * sqrt(Ir * It)] / (Ir + It)
1. نوع السعةCGH: "التحدي الشديد" لأشعة ضوء الإشارة المنبعثة من مقياس التداخل تمر عبر السطح المرجعي (TF)، وتنتقل ذهابًا وإيابًا عبرCGH، وأخيراً العودة إلى مقياس التداخل:
● شدة الضوء المرجعية Ir: 4% = 0.04
● شدة الضوء المقاسة هي: It = T_TF * كفاءة الحيود * Rs * كفاءة الحيود _ الخارج * T_TF حيث كفاءة الحيود 10%: = 0.96 * 0.10 * 0.04 * 0.10 * 0.96 = 0.00037
●تباين الشريط V_amp: V = [2 * sqrt(0.04 * 0.00037)] / (0.04 + 0.00037) = 0.189
2. نوع المرحلةCGH: "النسبة الذهبية" للطاقة
● شدة الضوء المرجعية Ir: 0.04
● شدة الضوء المقاسة: حيث تبلغ كفاءة حيود الطور 40%: = 0.96 * 0.40 * 0.04 * 0.40 * 0.96 = 0.00589
●تباين الشريط V_phase: V = [2 * sqrt(0.04 * 0.00589)] / (0.04 + 0.00589) = 0.668
●يوضح الشكل أدناه مقارنة بين نسب التباين المحاكاة V=0.189 و V=0.668.
هامش التدخل من التناقضات المختلفة
ثالثا. تحليل شامل لمسارات المعالجة
كلتا الطريقتين تبدأان من نفس النقطة، لكنهما تتباعدان في مرحلة "التشكيل".
1. نوع السعةCGH: الفن "الطرحي" للأفلام المعدنية
● العملية: يتم رش طبقة من الكروم (Cr) على ركيزة كوارتز، ويتم كتابة النموذج مباشرة باستخدام الليزر أو شعاع الإلكترون، ثم يتم تنفيذ النقش الرطب.
● النتيجة: يتم تشكيل نمط من المناطق "الشفافة" و"غير الشفافة" بالتناوب. تعتمد دقتها على الدقة الموضعية لمعدات الكتابة (يمكن لشركة Zhixing Optics تحقيق 3 سيجما <20 نانومتر).
2. نوع المرحلةCGH: عملية "النقش" على ركائز الكوارتز
● العملية: استنادًا إلى طريقة نوع السعة، تتم إضافة خطوة رئيسية - النقش بالحزمة الأيونية (IBE) أو النقش الأيوني التفاعلي (RIE).
● التحكم في العمق: يجب أن يكون عمق الحفر متطابقًا تمامًا مع الطول الموجي للكشف. بالنسبة لطول موجي يبلغ 633 نانومتر، عادة ما يتم التحكم في عمق الحفر بدقة على مستوى النانومتر لضمان أن فرق الطور يحقق التوزيع الأمثل للطاقة الضوئية وقمع الضوء الشارد.
CGHمعالجة مخطط التدفق
رابعا. الحل الفريد لشركة Ningbo Zhixing Optical: تكنولوجيا المعالجة الهجينة
في التجميع والتعديل في الموقع، هناك نقطة ألم معترف بها على نطاق واسع في الصناعة: أثناء المرحلة الكاملةCGHsتتمتع بطاقة عالية، ويتم استخدام منطقة المحاذاة الخاصة بها للانعكاس، مما يؤدي إلى انعكاس منخفض وتباين هامشي منخفض جدًا، خاصة عند محاذاة ضوء الحيود من الدرجة الثالثة، مما يجعل التعديل في الموقع صعبًا للغاية.
لمعالجة هذا،نينغبو زيكسينغ البصريةطورت عملية فريدة من نوعها:
التكنولوجيا الأساسية: سعة منطقة المحاذاة + مرحلة المنطقة الرئيسية
● منطقة القياس الرئيسية (نوع المرحلة): توفر واجهة قياس عالية الكفاءة ومنخفضة الضوء الشارد للمواد منخفضة الانعكاس مثل الزجاج البصري والمواد البلورية الدقيقة، مما يضمن التباين العالي في منطقة الاختبار.
● منطقة تحديد المحاذاة (نوع السعة): تحتفظ عمدًا بهيكل طبقة الكروم المعدنية لتعزيز التباين الهامشي في منطقة المحاذاة، مما يسمح للمهندسين بالتقاط بقعة الضوء على الفور أثناء تجميع المسار البصري وضبطه، مما يؤدي إلى تحسين كفاءة العمل بشكل كبير.
خامساً: ملخص: كيفية اختيار النموذج المناسب؟
وحدة المعرفة والعمل، بصريات لا حدود لها.نينغبو Zhixing تكنولوجيا البصريات المحدودةيركز على مجالات أشباه الموصلات والفضاء التجاري، مما يوفر حلاً ثلاثي الأبعاد كاملاً بدءًا من القياس عبر النطاق وحتى المعايرة المتزامنة متعددة المعلمات.
